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LCD/半導體行業廢氣處理
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LCD/半導體行業廢氣處理詳情

LCD/半導體行業廢氣處理簡述:

半導體制造業是集合物理、電子、電機、光學、化學、材料及管理科學的高科技工業。電子行業主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物)揮發造成對大氣環境的污染,以及整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染,這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。由于半導體元件制程中,使用多種酸堿溶液、有機溶劑及特殊的有毒氣體,其產生的廢氣及有毒物質污染強度大,若做不好污染防治工作,將造成嚴重的環境污染。目前更先進的處理方法有:蓄熱式氧化法(RTO)、濃縮轉輪+RTO、熱力燃燒法(TO)、催化燃燒法、吸附法、吸收法。

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